高效和超高效過濾器均用于潔凈室末端，以其結構形式可分為有：有隔板高效過濾器、無隔板高效過濾器、大風量高效過濾器,超高效過濾器等。

　　另外還有三種高效過濾器，一種是超高效過濾器，能做得到凈化99.9995%。一種是抗菌型無隔板高效空氣過濾器，具有抗菌作用，阻止細菌進入潔凈車間，一種是亞高效過濾器，價格便宜以前多用于要求不高的凈化空間。

　　高效過濾器的應用范圍主要是電子、半導體、精密機械、製藥、醫院、食品等行業中對潔凈要求較高的醫藥、民用或工業潔凈場所的末端過濾。

　　由于高效過濾器一般作為過濾末端，因此，對高效過濾器的各項要求也嚴格，當然則需要額外“關照”。

　　要延長高效過濾器的使用壽命，根本也是最簡單的辦法是將灰塵擋在預過濾器外面。也就是說，保證高效過濾器接觸到的氣流是經過預過濾器、粗效過濾器、中效過濾器過濾之后的空氣。這時的空氣，應該達到99。95%的塵粒較小、污染較低的標準。

　　這里需要說明的是，更換預過濾器一般無須停產或停止其他正常的工作計劃和安排。安裝后無須調試即可保證空調新風設備的正常運行。所以有經驗的客戶會把注意力用在預過濾器上。對於10000級和100000級潔凈廠房或手術室等高度潔凈區域，預過濾可選用F8過濾(比色法95%)。

　　這樣，末端高效過濾器的使用壽命一般可達到5年。在國外項目中和國內新建項目中。F8中效過濾器是非均勻流潔凈室最常見的預過濾器。對於芯片廠100級、10級或更高級別的潔凈廠房，預過濾器的常見效率級別為H10(MPPS85%)，許多新建項目索性選用HEPA(對0。37m粒子的過濾效率≥99。97%)。

　　在國內過去的潔凈室空調系統設計中，過濾器的常見配置為：粗效→中效→高效。那時末端高效過濾器的使用壽命僅為1-3年，最差的也就幾個月。可見，預過濾效率高低決定末端過濾器使用壽命。

　　有些場合，對高效過濾器使用的規定不是出於對阻力的考慮，而是其它因素，若廠房中有氫氟酸，而車間空調又不是全新風系統，高效過濾器的玻璃纖維濾紙就會受到回風的腐蝕。為了安全，必須定期更換高效過濾器。

　　目前，國內部分三級甲等醫院和製藥廠，每年雨季過后都會主動更換高效過濾器，主要目的就是防止過濾器上有任何可能的霉菌污染。有些國家三級甲等醫院、製藥廠的生物實驗室和與危險品打交道的實驗室，在開展一項新的生要課題前，為了保證安全可靠，都會使用新的高效過濾器。